Lithography Track For DUV and iline
Eindhoven University of Technology (TU/e) besteedt de levering van één nieuwe OEM‑ondersteunde “Lithography Track for DUV and iLine” aan, inclusief ontwerp, fabricage, software, ondersteunende apparatuur, chemicaliënkasten, documentatie, installatie, inbedrijfstelling, acceptatie, training, garantie, spare parts en service; configuratie: 3 coatingmodules (totaal 8 gefilterde dispense‑lijnen), 1 developer (4 lijnen), 5–10 proximity hotplates (90–200°C), geschikte chill plates, 1 HMDS, ≥2 loadposities, waferhandling voor 100/150 mm en throughput >10 wafers/uur. Doel is het versterken van de NanoLabTU/e‑cleanroom binnen NanoLabNL met volledig automatische coating/ontwikkeling (integratie met ASML DUV/iLine, Heidelberg, EVG) en plaatsing in de Applied Physics and Science Education cleanroom; SAT‑eisen omvatten o.a. laagdikte‑uniformiteit, CD‑uniformiteit, primer contacthoek en >50 handlingcycli per loadport. Financiële omvang: maximaal €2.000.000 excl. btw met betaling 40/50/10; Europese RFP via MERCELL met gunning aan één opdrachtnemer op BPKV; oplevering bij succesvol SAT‑handover, levertijd in overleg.
Aanbesteding details
| Gepubliceerd door | Technische Universiteit Eindhoven | |
| Status | Gesloten | |
| Gepubliceerd op | 18 dec 2025 | |
| Sluitingsdatum | 30 jan 2026 | |
| Bron / Platform | TenderNed | |
| Categorie | Ziekenhuis- & Laboratoriumartikelen | |
| Type opdracht | Leveringen | |
| Procedure | Openbaar | |
| Trefwoorden | Lithography Track For DUV and iline | |
| CPV code | 38000000-5 Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) | |
| Plaats van uitvoering | NEDERLAND (NL) | |
| PB/S nummer | 844081-2025 | |
| Europees / nationaal | Europees | |
| Gunningscriteria | 🔒 Alleen beschikbaar in TenderApp |
🔒 Documenten

Direct toegang tot alle aanbestedingsdocumenten
Om succesvol in te schrijven, heb je de juiste documenten nodig. TenderApp verzamelt automatisch alle relevante documenten van een publicatie. Ontbrekende stukken vragen we voor je op. Je hoeft dus niet zelf te zoeken of aanvragen in te dienen. Alles is direct en blijvend beschikbaar.
- Toegang tot alle aanbestedingsdocumenten sinds 2017
- Altijd inzicht in bestekken, contracten en aanvullende stukken
- Geen tijdverlies door ontbrekende documenten
🔒 Agenda

Blijf op de hoogte van belangrijke deadlines
Een succesvolle aanbesteding start met een goede planning. TenderApp brengt alle belangrijke data en deadlines in kaart, zoals inschrijvingsdeadlines, vragenrondes en gunningstermijnen. Ontbrekende informatie? Wij vragen deze proactief op en actualiseren de agenda continu.
- Volledige planning van elke aanbesteding
- Automatische updates bij nieuwe wijzigingen
- Geen verrassingen of gemiste deadlines
🔒 Contractinformatie

Inzicht in contractwaarde en looptijden
TenderApp brengt de omvang van het contract in kaart, inclusief de initiële looptijd en bijbehorende opties. Zo weet je direct wat er op het spel staat en welke verlengingsmogelijkheden er zijn.
Ontbrekende contractinformatie wordt door ons proactief opgezocht en verwerkt in TenderForecast. Hiermee analyseren we contractgegevens en markttrends om te signaleren wanneer een aanbesteding mogelijk opnieuw op de markt komt.
- Volledig inzicht in contractwaarde, looptijd en verlengingsopties
- Toegang tot historische contractgegevens voor strategische planning
- TenderForecast helpt inschatten wanneer een tender opnieuw verschijnt
🔒 Gunningsinformatie
Welke partij schrijft succesvol in op deze tender?
Dat weten we snel bij TenderApp. Zodra de gunningsinformatie bekend is, voegen wij deze direct toe en koppelen we de juiste KvK-gegevens. Zo zie je precies welke partij de opdracht wint en welke bedrijven eerder succesvol hebben ingeschreven.
Daarnaast zetten we proactief opvolgacties uit om ontbrekende gunningsinformatie te verkrijgen, zodat jij altijd over de meest complete en actuele gegevens beschikt.
- Inzicht in winnende inschrijvers zodra de gunning bekend is
- KvK-koppeling voor volledige bedrijfsinformatie
- Proactieve opvolging om ontbrekende data te verzamelen
