Tender for Plasma 1 setup: PECVD + Hard Mask Etch
TNO (Netherlands Organisation for Applied Scientific Research) schrijft een Europese openbare aanbesteding uit voor de levering, installatie en het onderhoud van een geïntegreerde Plasma 1 setup voor 6-inch indiumfosfide (InP)-wafers, bestaande uit twee PECVD-chambers, twee Hard Mask Etch-chambers, een dual robot arm, centrale besturing, en aanvullende automatiserings- en veiligheidsvoorzieningen. De opdracht omvat tevens training voor medewerkers, een onderhouds- en servicecontract (preventief, predictief, correctief en softwareonderhoud), technische ondersteuning en optionele uitbreiding met extra chambers binnen drie jaar, alles gericht op het realiseren van een industriële pilotproductielijn voor hoogwaardige fotonische chips als onderdeel van het PIXEurope-initiatief. De financiële omvang bedraagt €2.150.000 exclusief btw, met een initiële contractduur van twee jaar en mogelijke verlengingen tot maximaal vier jaar, waarbij gunning plaatsvindt aan de inschrijver met de laagste totale prijs en levering gepland vanaf 20 november 2026.
Aanbesteding details
| Gepubliceerd door | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | |
| Status | Gesloten | |
| Gepubliceerd op | 28 okt 2025 | |
| Sluitingsdatum | 8 dec 2025 | |
| Bron / Platform | TenderNed | |
| Categorie | Ziekenhuis- & Laboratoriumartikelen | |
| Type opdracht | Leveringen | |
| Procedure | Openbaar | |
| Trefwoorden | PECVD, Hard Mask Etch, Plasma | |
| CPV code | 42900000-5 Diverse machines voor algemeen en specifiek gebruik | |
| Plaats van uitvoering | NEDERLAND (NL) | |
| PB/S nummer | 709885-2025 | |
| Europees / nationaal | Europees | |
| Gunningscriteria | 🔒 Alleen beschikbaar in TenderApp |
🔒 Documenten

Direct toegang tot alle aanbestedingsdocumenten
Om succesvol in te schrijven, heb je de juiste documenten nodig. TenderApp verzamelt automatisch alle relevante documenten van een publicatie. Ontbrekende stukken vragen we voor je op. Je hoeft dus niet zelf te zoeken of aanvragen in te dienen. Alles is direct en blijvend beschikbaar.
- Toegang tot alle aanbestedingsdocumenten sinds 2017
- Altijd inzicht in bestekken, contracten en aanvullende stukken
- Geen tijdverlies door ontbrekende documenten
🔒 Agenda

Blijf op de hoogte van belangrijke deadlines
Een succesvolle aanbesteding start met een goede planning. TenderApp brengt alle belangrijke data en deadlines in kaart, zoals inschrijvingsdeadlines, vragenrondes en gunningstermijnen. Ontbrekende informatie? Wij vragen deze proactief op en actualiseren de agenda continu.
- Volledige planning van elke aanbesteding
- Automatische updates bij nieuwe wijzigingen
- Geen verrassingen of gemiste deadlines
🔒 Contractinformatie

Inzicht in contractwaarde en looptijden
TenderApp brengt de omvang van het contract in kaart, inclusief de initiële looptijd en bijbehorende opties. Zo weet je direct wat er op het spel staat en welke verlengingsmogelijkheden er zijn.
Ontbrekende contractinformatie wordt door ons proactief opgezocht en verwerkt in TenderForecast. Hiermee analyseren we contractgegevens en markttrends om te signaleren wanneer een aanbesteding mogelijk opnieuw op de markt komt.
- Volledig inzicht in contractwaarde, looptijd en verlengingsopties
- Toegang tot historische contractgegevens voor strategische planning
- TenderForecast helpt inschatten wanneer een tender opnieuw verschijnt
🔒 Gunningsinformatie
Welke partij schrijft succesvol in op deze tender?
Dat weten we snel bij TenderApp. Zodra de gunningsinformatie bekend is, voegen wij deze direct toe en koppelen we de juiste KvK-gegevens. Zo zie je precies welke partij de opdracht wint en welke bedrijven eerder succesvol hebben ingeschreven.
Daarnaast zetten we proactief opvolgacties uit om ontbrekende gunningsinformatie te verkrijgen, zodat jij altijd over de meest complete en actuele gegevens beschikt.
- Inzicht in winnende inschrijvers zodra de gunning bekend is
- KvK-koppeling voor volledige bedrijfsinformatie
- Proactieve opvolging om ontbrekende data te verzamelen
